1、赛微电子300456

现价：21.82元，市值：160.28亿

主营业务：惯性导航系统、卫星导航产品的研发、生产与销售；

亮点：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务；

2、晶方科技603005

现价：21.2元，市值：138.48亿

主营业务集成电路的封装测试业务；

亮点：荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一；

3、华特气体688268

现价：84.95元，市值：102.23亿

主营业务：以特种气体的研发、生产及销售为核心，辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务；

亮点：**光刻气龙头;**特种气体国产化的先行者；

4、彤程新材603650

现价：34.96元，市值：208.4亿

主营业务：精细化工材料的研发、生产、销售和相关贸易业务；

亮点：公司全资子公司彤程电子受让科华微电子33.70%的股权，是****拥有荷兰ASML曝光机的光刻胶公司，也是****一家拥有**光刻胶自主研发及生产实力的**级高新技术企业；

5、炬光科技688167

现价：107.58元，市值：94.79亿

主营业务：激光行业上游的高功率半导体激光元器件（“产生光子”）、激光光学元器件（“调控光子”）的研发、生产和销售；

6、南大光电300346

现价35.76元，市值：194.43亿

主营业务：先进前驱体材料、电子特气、光刻胶及配套材料三类半导体材料产品研发、生产和销售；

亮点：公司自主研发的ArF光刻胶产品成功通过客户的使用认证，成为通过产品验证的**只国产ArF光刻胶。